Câu ví dụSiêu mạng lưới R-3 ở đường kính thứ tám.Thứ nhất, một lớp epitaxy của chiều dày bằng nhau và thành phần cấu trúc thống nhất phải được gửi trên toàn bộ wafer, thường bao gồm một siêu mạng.
